Luxel薄膜フィルター(超高真空・極紫外)

 
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LUXEL社の薄膜フィルターは、厳選された材料と洗練された製造技術から作られた超高真空にも使用可能な高品質フィルターです。

その品質と耐久性から、多くの観測衛星に搭載されミッションを果たしています。

フィルター以外の製品においても極紫外・X線研究分野に広く貢献しています。

 

 

薄膜スタンダードフィルター用途

 

● シンクロトロンX線ビームライン

● X線プラズマ、X線レーザー

● 極紫外、X線リソグラフィー

● 材料科学、分子生物学、結晶

● 宇宙X線望遠鏡、X線天文観測

 

材料

● Al

● Al/Carbon overcoat

● Al/Titanium overcoat

● Carbon

● Polyimide

● Boron

● Silicon

● Niobium

● Tin

● Indium

● Palladium

● Ziruconium

 

 

LUXEL社 VATゲートバルブ

Torrレベルの圧力差に対応

 

VF111:VATゲートバルブ
P/N01032-UE01-X、P/N01032-CE01-X用

 

内径  16mm

外径  30mm

 

 

 

Luxelは標準フレームを3種用意しています。

VATバルブを含め様々なサイズに取り付け可能です。

またご希望があれば、ご指示寸法のフレームに取り付けて供給する事もできます。

設計の初期段階でお問い合わせ頂ければ、我々Luxelのこの分野における経験をお使いいただけると思います。


 

↓クリックで寸法詳細


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Standard materials:

COMPOSITION THICKNESS MAX. VISIBLE TRANSMITTANCE
Aluminum 1500Å 5 x 10-8
Indium 1600Å 5 x 10-7
Al / Carbon Overcoat 1500Å / 270Å 5 x 10-8
Tin: 3% Germanium 1600Å 5 x 10-7
Al / Titanium Overcoat 1500Å / 270Å 5 x 10-8
Carbon 1200Å 5 x 10-2
Lexan (polycarbonate) 1300Å, or to specs transparent
Boron 1200Å 5 x 10-1
Silicon 1200Å 5 x 10-1
Polyimide 1100Å, or to specs transparent
Palladium 1500Å 5 x 10-6
Titanium 2000Å 5 x 10-5
Zirconium 1500Å 5 x 10-6

 

特注にも対応できます

Green:標準品 Blue:セミカスタム

 

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LUXEL社ホームページへリンク

 

詳細はお問い合わせください。