位相差測定装置製品一覧

モデル ＬＤ光源位相差測定装置
タイプ 半導体レーザー・自動切換え・多波長搭載
特　徴

当社の位相差測定装置のベーシックモデルです。

ＭＡＲＹ（エリプソメーター）と部品を共通化することにより低価格高性能化を実現しています。

 

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モデル 分光位相差測定装置
タイプ 白色光源・
特　徴 白色光源の採用により希望波長での測定が可能です。また、高速モノクロの採用により波長特性も簡単に目視可能です。

 

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モデル ＬＥＤ光源位相差測定装置
タイプ コリメートＬＥＤ光源・自動切換え・多波長搭載
特　徴

ＲＧＢ三色のＬＥＤを光源とした位相差測定装置です。

各波長での位相差･透過率測定が可能です。

 

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モデル 縦型位相差測定装置
タイプ 透過専用・・自動切換え・多波長搭載
特　徴 ラインでの可非判定を容易にした縦型位相差測定モデルです。サンプルを横のまま移動できるので面内位相差測定が楽に行えます。