チルトハイト（Tandem製品）

　 　　　　　　　　　　　　

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角度・変位量複合センサー

 

　最大の特徴はサンプルの傾き、厚みを同時測定できます。

 

 

●　オートコリメーターの機能に変位計を追加した複合型測定機です。

 

●　オートコリ光軸と変位計光軸が同軸なので、同一箇所の変化を容易に　

　　確認できます。

　　

●　測定条件の変更や上限下限も設定でき、良否判定をすることも可能。

 

●　オプションで対物レンズの挿入により測定位置の確認ができます。

 

●　パソコンとはUSB接続ですので容易に設置可能です。

 

●　データーはＣＳＶ形式ですので表計算ソフトなどで容易に集計可能で

　　す。

 

 

*1：積算回数により変化します。

*2：サンプルまでの距離により変化します

 

角度誤差　0.5度まで±15秒　1度まで±30秒　

 

 

デモ機用意してありますのでお気軽にご連絡ください。

 

 

 

カスタム仕様設計例

 

 

●広角測定用オートコリメータ

HAWK-200や300と組み合わせてシステム化することで、広角と狭角を同軸で測定出来ます。

専用コリメートレンズの設計により、測定範囲±7度以上を実現しました。

光源：赤色半導体レーザー

ディテクター：ＰＳＤ　もしくは　ＣＣＤ

―　ＰＳＤの場合、ダイナミック測定が可能です。

―　ＣＣＤの場合は、画像処理機能を使用出来ます。

 

●プリズム検査用オートコリメータ

 

光源と受光素子が、90度の位置関係を持つシステム。

プリズムの角度検査用などに使用します。

測定範囲、ディテクターなど、サンプル内容に合わせて対応いたします。

 

 

●微小エリア測定　変位角センサ　HAWK-104

微小エリアの変位角を測定する為に開発された製品。

ビーム径：　100μｍ

 

 

その他、測定範囲･分解能･Ｗ.Ｄ.　及び　プログラム等、カスタム対応のご相談に応じます。