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●単波長エリプソメーター MARY-102 300ｍｍウェハー対応 大型基板対応 自動搬送機能 ●分光エリプソメーター MASS-105 |
●位相差測定装置（LD) PDMS ●分光位相差測定装置 PDMS-SP ●LED光源 位相差測定装置 PDMS-LED |
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■小型分光放射計 Specbosシリーズ 積分球付属タイプ CIE平均化LED光度測定 ■各種 分光光度計 SCB1001 フィルター･セル透過測定 液浸プローブタイプ |
●変位角（チルト）センサー レーザーオートコリメーター 変位角センサ 複合センサ（変位角+変位） ■Watson社 ジャイロセンサ |
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●空間電荷測定装置 PEANUTS
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■LUXEL社 薄膜フィルタ
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●偏光モジュレーター ■Tower社 波長板 |
●レンズ肉厚検査器 (LTC/LTM) |
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●非破壊光断層観察装置 OCT
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ファイブラボ株式会社
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