小型検出器タイプPEA

 


 
  

 


 

 

 

小型PEA検出器をクランプにセットしました。
サンプルを測定の為に切りだすことなく、その場でサンプルを測定することが可能です。

 

型番 

ST

HR

被測定試料

表面が平滑なシート状固体

サンプル形状

30mm(W)x30mm(D)x0.1mm(T)

〜      
50mm(W)x50mm(D)x1.0mm(T)

測定部サイズ

250mm(W) x 200mm(D) x 150mm(T)

加電電圧範囲

0 〜 600V

位置分解能

15μ

10μ以下

 

 

 


 
  

 


 

測定サンプルの上に上部電極をかぶせるのではなくセンサーを平行に設置し様々な材料サンプルにプラズマ処理を行っている最中の空間電荷を測定することが可能です。

型番 

ST

HR

被測定試料

表面が平滑なシート状固体

サンプル形状

30mm(W)x30mm(D)x0.1mm(T)

〜      
50mm(W)x50mm(D)x1.0mm(T)

測定部サイズ

250mm(W) x 200mm(D) x 150mm(T)

加電電圧範囲

0 〜 600V

位置分解能

15μ

10μ以下