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小型検出器タイプPEA
小型PEA検出器をクランプにセットしました。
サンプルを測定の為に切りだすことなく、その場でサンプルを測定することが可能です。
測定サンプルの上に上部電極をかぶせるのではなくセンサーを平行に設置し様々な材料サンプルにプラズマ処理を行っている最中の空間電荷を測定することが可能です。
ST 被測定試料 表面が平滑なシート状固体 30mm(W)x30mm(D)x0.1mm(T) 〜 250mm(W) x 200mm(D) x 150mm(T) 加電電圧範囲 0 〜 600V 位置分解能 15μ 10μ以下
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