膜厚標準サンプル製品一覧

　
　 　　　　　　

 

御好評頂いております当社の基準サンプルを持ち運び可能にしたタイプです。金属枠内に入っているため、破損しにくくなっています。

４種類の中からご希望の膜厚の物をお選び頂けます。

ＰＣＫタイプは雄雌同一ネジですので、写真のように積層可能です。

また、キャップ付ですので、破損・塵に強く保存も楽です。

膜厚値は無し・センター測定・マッピング測定３種類からお選びください。

 

型番　

PCK-□-△

TAT-□-△

基盤

シリコンウェハー10ｍｍ角

膜種

ＳｉＯ2

測定方法

          Ｎ：測定無 　　　　　　
          Ｃ：センターのみ測定

          Ｍ：100点マッピング測定
※型番の項目で、□内“N・C・M”をご指定ください。

膜厚

          204nm：305nm：406nm：515nm 　　　　　　
   　　※型番の項目で△内膜厚ご指定ください。

外形

φ30　10t　

φ38　56ｔ

ネジ径

M22　P=1

M16　P=1

 

 

オプションでＢＫ－７や石英、プリズム等の設置も可能です。

 

 

 

＞STA-PCK寸法詳細

 

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