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● 高解析力
● 回転位相子法を採用
● 高再現性
● 高速測定
● 豊富なオプション
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| 装置概要： |
分光エリプソメータ MASS-105シリーズは、弊社製単波長エリプソメータMARYシリーズとの共通部品化で、小型・低価格な装置となりました。
分光器には、2048分割のCCDタイプを用いるなど、性能・機能はパワフルなものとなっています。
●コラム：いちばん最初に読む「エリプソメータ」 |
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| 特徴： |
高精度測定Ⅰ
測定方式に回転位相子法を採用し、測定値Δ（位相差）の値に依存せず､どの領域でも高精度測定を実現しています。
高精度測定Ⅱ
位相板は専用の広帯域位相板を使用し、弊社独自のホールモータによる光学素子の回転により高い再現性の測定が出来ます。 |
エリプソメータ 装置仕様：
| 仕様 |
Specifications |
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測定方式 |
回転位相子法（RQ法） |
Method |
Rotating Retarder
Method |
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光源 |
150W Haランプ |
Light
Source |
150W Halogen |
| ビーム径 |
約 φ1～5mm |
Beam
Dia |
Approx.φ1～5mm |
| 入射角 |
自動可変、手動可変あるいは固定（任意）
自動の場合
45°～90°
0.01°刻み |
Incident
Angle |
Auto, Manual or
Fixed
Auto(45°～90°
0.01°step) |
サンプル
ステージ |
6インチサイズ標準 (8",
12")
自動θ-Y タイプ
手動θ-Y
タイプ
モータドライブZ軸
手動Z軸
手動チルト機構付 |
Sample
Stage |
6" standard (8" & 12"
optional)
Autoθ-Y
Manualθ-Y
Motor-driven
Z-axis
Manual Z-axis
Manual tilt control |
| 測定精度 |
Δ = ± 0.05 °
ψ = ± 0.05
°
@SiO2(1000 Å) / Si |
Accuracy |
Δ=±0.05°
ψ=±0.05°
@SiO2(1000Å)/Si |
| 波長領域 |
360 ～ 900nm |
Wavelength
Range |
360 ～ 900nm |
| 波長分解能 |
1.5nm |
Wavelength
Resolution |
1.5nm |
| ＰＣ |
IBM-PCまたは互換機 |
ＰＣ |
IBM-PC compatible |
| 寸法 |
300W×400D×450H mm |
Dimensions |
300W×400D×450Hmm |
＞大型サンプル対応ＡＳＳ－１０３
＞ＭＡＳＳ－１０５
＞レーザーエリプソメーターMARY-102
＞超小型エリプソメーターMACO
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