モデル	ＭＡＲＹ
タイプ	手動・自動・多入射・裏面除去機能
特　徴	当社のベストセラーモデルです、豊富なオプション、研究用・工業用とどちらの用途にも使用可能なソフトウェアを搭載しています。

 

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モデル	ＭＡＣＯ
タイプ	指定半導体レーザー・裏面除去機能
特　徴	ＭＡＲＹの技術を結集し超コンパクトに設計したエリプソメーターです。小さい以外はＭＡＲＹと同等の性能を持っています。

 

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モデル	ＭＡＳＳ−１０５
タイプ	多入射・短波長・長波長
特　徴	ＭＡＲＹと共通部品化し、低価格化を実現した分光エリプソメーターです。分光器はＣＣＤタイプを使用し高速化も実現しました。

 

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モデル	ＭＡＳＳ大型基盤対応
タイプ	多入射・短波長・長波長
特　徴	大型基盤や透過測定等拡張性のある分光エリプソメーターです。強光量が可能ですので反射率の低いサンプルも測定可能です。

 

＞大型サンプル対応ＡＳＳ−１０３

モデル	ＭＡＸＹ
タイプ	自動ＸＹＺ・全自動位置検出・裏面除去機能
特　徴	ＭＡＲＹの測定ユニット部のみを使用し、サンプル移動部を大型化したモデルです。各種ディスク形状・液晶基盤にも対応可能です。